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半導體生產(chǎn)專用高壓(鼓)風機

半導體生產(chǎn)專用高壓(鼓)風機:產(chǎn)生高壓氣體,送入半導體生產(chǎn)設備中,提高生產(chǎn)效率和質量

  • 產(chǎn)品價格:888
  • 廠商性質:經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-12-19
  • 訪  問  量:159
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品牌辛恪應用領域環(huán)保,電子/電池,鋼鐵/金屬,電氣,綜合
  • 在半導體生產(chǎn)過程中,半導體生產(chǎn)專用高壓(鼓)風機扮演著至關重要的角色。其主要作用是通過產(chǎn)生高壓氣體,送入半導體生產(chǎn)設備中,以提高生產(chǎn)效率和質量。具體應用包括:

  • 氣體輸送方面

    • 在半導體晶圓切割過程中,多級離心鼓風機(類似于高壓風機功能)可將高純度氣體(如氮氣、氬氣等惰性氣體)傳遞到加工區(qū)域,用于冷卻、潤滑和清洗,同時將磨屑等雜質從切割區(qū)域排出,確保晶圓表面完整無缺。并且在半導體生產(chǎn)中,能將氣體輸送到特定的處理裝置,像物理氣相沉積(PVD)、化學氣相沉積(CVD)等裝置,這些裝置需要精確的氣體流量和壓力,高壓風機可通過調(diào)節(jié)葉輪來控制氣體流量和壓力,確保工藝參數(shù)的精確性。

  • 制造環(huán)境營造方面

    • 在半導體生產(chǎn)過程中,需要使用大量的氣體來幫助制造半導體器件。高壓風機可以產(chǎn)生高壓氣體,將其送入半導體生產(chǎn)設備中,提高半導體器件的生產(chǎn)效率和質量。同時,還可以幫助控制半導體生產(chǎn)設備中的氣體流量和壓力,確保半導體器件的生產(chǎn)效果和質量

半導體生產(chǎn)高壓風機的工作原理

高壓風機是一種通過旋轉葉輪產(chǎn)生高壓風的設備。當電機帶動葉輪旋轉時,葉輪將空氣吸入,并將其壓縮成高壓風。高壓風通過出口管道排出,可用于各種不同的應用。其工作原理與其他類型的風機相似,但它的壓縮比較高,可以產(chǎn)生更大的風壓和風量。通常由電機、葉輪、進口管道、出口管道和控制系統(tǒng)等組成

半導體生產(chǎn)專用高壓(鼓)風機的特點

  • 高風壓和大風量

    • 能夠滿足半導體生產(chǎn)中對氣體壓力和流量的要求,如在一些需要將氣體快速輸送到預定位置或者需要在較大空間內(nèi)營造特定氣體環(huán)境的場景下,高風壓和大風量可以確保氣體及時、足量供應。

  • 精確控制氣體流量和壓力

    • 如在晶圓切割時對不同加工步驟所需的氣體流量和壓力能精準調(diào)節(jié),在氣體處理裝置(PVD、CVD等)中也能確保精確的工藝參數(shù),這對于半導體這種對精度要求較高的生產(chǎn)過程非常關鍵。

  • 穩(wěn)定可靠

    • 在長時間的半導體生產(chǎn)過程中能夠持續(xù)穩(wěn)定運行,為生產(chǎn)過程提供穩(wěn)定的氣體供應、壓力和流量環(huán)境,避免因風機故障導致生產(chǎn)中斷或者產(chǎn)品質量問題。


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